ART95XYZ系列 直線電機機械臺-XYZ是納米級定位精度的XYZ一體式運動平臺，直線電機驅動，采用交叉滾柱導軌，具備非常優秀的動態性能和定位精度，空載截止頻率可達100Hz以上。采用XYZ一體設計，具有精度高、尺寸小、集成度高的特點，XYZ行程可以根據客戶需求定制，它可以作為三維運動平臺單獨使用，還可以與RSML系列轉臺搭配使用，組成不同的多軸配置來滿足客戶應用。

ART95XYZ系列 直線電機機械臺-XYZ平臺雖然結構緊湊但是有較強的驅動能力，速度可達200mm/s，空載加速度可達1g。配置線性放大器，帶隔振實驗室環境下，ART95XYZ系列平臺的在位穩定性可達3nm和最小步進量可以小于5nm，主要應用于通訊領域的光纖耦合，半導體領域的晶圓缺陷檢測、生物醫療領域的基因測序以及光學領域光路對準等，可以根據客戶的應用提供靈活的定制方案。

精巧的結構設計保證了ART95XYZ系列出色的精度和動態性能，特別是在速度穩定性要求苛刻的應用中，它的優異性能得到了很好的體現。

ART95XYZ系列平臺最小步進和在位穩定性測試

5nm最小步進（ASH反饋選項，配置線性放大器）

<3nm在位穩定性（ASH反饋選項，配置線性放大器）

備注：

（1）適配-ASH反饋，線性放大器；

（2）空載，需配置相應功率的放大器；

（3）默認測試點位置為臺面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際載荷和工作點位置有關；

（4）氣缸供氣需配置空濾三聯件，必須清潔、干燥，過濾至0.25μm以下顆粒，建議使用純度為99.9%的氮      氣。氣壓根據平臺實際負載重量可調。

（5））其他行程可定制。