ART130LZ系列 直線電機機械臺-Z向單軸是納米級定位精度的垂直運動平臺，直線電機驅動，采用交叉滾柱導軌，具備非常優秀的動態性能和定位精度，空載截止頻率可達100Hz以上。是ART130系列水平運動平臺的有效補充，可以與ART130或者ART130XY系列組成不同的多軸配置來滿足客戶應用。

ART130LZ系列 直線電機機械臺-Z向單軸平臺雖然結構緊湊但是有較強的驅動能力，速度可達500mm/s，空載加速度可達1g。配置線性放大器，帶隔振實驗室環境下，ART130LZ系列平臺的在位穩定性和最小步進量可以小于10nm，平面度/直線度可達±1.5μm，主要應用于通訊領域的光纖耦合、半導體領域的晶圓缺陷檢測、生物醫療領域的基因測序以及激光微納加工等，可以根據客戶的應用提供靈活的定制方案。

ART130LZ系列平臺最小步進和在位穩定性測試

5nm最小步進（ASH反饋選項，配置線性放大器）

<3nm在位穩定性（ASH反饋選項，配置線性放大器）

備注：

(1)適配-ASH反饋，線性放大器；

(2)空載，需配置相應功率的放大器；

(3)默認測試點位置為臺面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際載荷和工作點位置有關；

(4)氣缸供氣需配置空濾三聯件，必須清潔、干燥，過濾至0.25μm以下顆粒，建議使用純度為99.9%的氮氣。氣壓根據平臺實際負載重量可調。

(5)其他行程可定制。