PM系列 直線電機機械臺-XY是亞微米級定位精度的XY一體式精密定位平臺，直線電機直驅(qū)控制，采用兩軸一體式結(jié)構(gòu)，具備非常優(yōu)秀的性能和重復定位精度，雙向重復精度小于±0.3μm. PM系列平臺采用杰出的工業(yè)化設計，動態(tài)性能和幾何均非常出色，空載截止頻率可達120Hz以上，全行程平面度和直線度小于±2μm，是一款兼顧重負載和高精度的XY平臺。

PM系列 直線電機機械臺-XY平臺結(jié)構(gòu)精致，有較強的驅(qū)動能力，上下軸均采用大推力雙電機驅(qū)動，上下軸空載速度均可達到2000mm/s，空載加速度可達2g，在高速運動過程中仍然可以保證很小的動態(tài)跟隨誤差。例如，PM系列平臺加工加工圖形如下，要求在1.2秒內(nèi)完成整段軌跡，利用scope采集動態(tài)跟隨誤差小于12μm。PM系列平臺集高精度，重負載，低側(cè)向高度等優(yōu)點于一身，主要應用在高速激光加工、測量檢測、表面粗糙度檢測等需要亞微米級定位精度的工業(yè)領域和科研項目。

PM系列平臺最小步進和動態(tài)性能測試

最小步進20 nm（實驗室環(huán)境，配置線性放大器）

此圖型為150mmX75mm毫米的操場型圖形，其中4個拐角半徑大約4.5mm

1.2秒完成加工，動態(tài)跟隨誤差小于12μm

備注：

（1）空載，需配置相應功率的放大器；

（2）適配-AS反饋，以及線性放大器；

（3）默認測試點位置為臺面上方25 mm，單軸指標，多軸系統(tǒng)的性能指標與實際載荷和工作點位置有關；

（4）其他行程可定制。