SMH165LM系列 直線電機機械臺采用直線電機驅(qū)動，直驅(qū)電機速度快、動態(tài)性能好、摩擦力小，易于實現(xiàn)精密位置控制，非常適合大行程，高速度和高精度應用。

SMH165LM系列 直線電機機械臺使用高分辨率光柵，電子分辨率可達1nm，通過校準可使平臺達到亞微米級重復性和定位精度。而低摩擦側(cè)密封保護其免受灰塵或顆粒污染，保證其長時間正常運行，延長維護周期。 SMH165LM系列為客戶提供線纜管理選項，低摩擦側(cè)封使日常維護更簡易。

SMH165LM系列直線運動平臺是精密機械中的關鍵部件之一，它主要應用于OLED切割、PCB鉆孔、數(shù)控加工、生物技術、IC封裝設備、表面形貌測量等領域。為客戶提供一個兼具精密定位，高速度和大負載的精密運動平臺。

SMH165LM系列平臺最小步進和在位穩(wěn)定性測試

20nm最小步進（實驗室環(huán)境，配置線性放大器測試）

±10nm在位穩(wěn)定性（實驗室環(huán)境，配置線性放大器測試）

備注：

(1)適配-AS反饋，以及線性放大器；

(2)空載，需配置相應功率的放大器；

(3)默認測試點位置為臺面上方25 mm，單軸指標，多軸系統(tǒng)的性能指標與實際載荷和工作點位置有關；

(4)其他行程可定制。