ART165V-5系列 直驅(qū)升降臺(tái)是納米級(jí)定位精度托舉運(yùn)動(dòng)升降平臺(tái)，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，交叉滾珠導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達(dá)150Hz以上。

ART165V-5系列 直驅(qū)升降臺(tái)是ART系列水平運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的有效補(bǔ)充，相比ART130V-5臺(tái)面寬度有所增加，承載能力更大，可以與SMH165LM/SMH165SD直線平臺(tái)組成不同的多軸配置來(lái)滿足客戶應(yīng)用。在一些需要快速聚焦的應(yīng)用中，ART165V-5 的出色動(dòng)態(tài)性能使其足以滿足嚴(yán)苛的技術(shù)要求，例如，在基因測(cè)序應(yīng)用中ART165V-5安裝1.7kg負(fù)載步進(jìn)1μm，步進(jìn)整定到±50nm誤差范圍，能在15ms時(shí)間內(nèi)完成包括加減速和整定在內(nèi)的所有動(dòng)作，能快速準(zhǔn)確的完成實(shí)時(shí)聚焦動(dòng)作。

ART165V-5系列升降臺(tái)結(jié)構(gòu)緊湊小巧，但是有較強(qiáng)的驅(qū)動(dòng)能力，最大速度可達(dá)75mm/s，空載加速度可達(dá)0.7g。配置線性放大器，帶隔振實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下，ART165V-5系列升降臺(tái)的在位穩(wěn)定性和最小步進(jìn)量可以小于5nm，主要應(yīng)用于通訊領(lǐng)域的光纖耦合、半導(dǎo)體領(lǐng)域的晶圓缺陷檢測(cè)、生物醫(yī)療領(lǐng)域的基因測(cè)序等，可以根據(jù)客戶的應(yīng)用場(chǎng)景提供靈活的定制方案。

ART165V-5系列升降臺(tái)最小步進(jìn)測(cè)試

5nm 步進(jìn)（配置線性放大器）

0.1mm 步進(jìn)，50ms整定到±50nm

備注：

（1）平行或垂直于楔形塊方向測(cè)量；

（2）沿軸線方向受力；

（3）適配-AS反饋，配置線性放大器；

（4）空載測(cè)試；

（5）默認(rèn)測(cè)試點(diǎn)位置為臺(tái)面上方25 mm，單軸指標(biāo)，多軸系統(tǒng)的性能指標(biāo)與實(shí)際載荷和工作點(diǎn)位置有關(guān)。