SMH-V系列 電動直驅升降臺是納米級定位精度托舉運動Z向平臺，包括SMH115V-010 、SMH165V-020、SMH190V-035和SMH225V-050等，對應行程分別是12mm、22mm、37mm和52mm。它是ART130XY和SMH-LM系列水平運動平臺的有效補充， SMH-V系列升降臺具有尺寸緊湊、側向高度低、定位精度和重復性優良、最小步進精度量小、承載能力強和步進穩定時間短等優點。SMH-V系列升降臺采用巧妙的機械設計，在保證精度和承載能力的同時，可以有效節省安裝空間。

SMH-V系列 電動直驅升降臺雖然結構緊湊但是有較強的驅動能力，最大負載可達60kg。配置線性放大器，帶隔振實驗室環境下，SMH-V系列平臺的在位穩定性和最小步進量可以小于20nm，重復性優于±200nm。主要應用于半導體領域的晶圓缺陷檢測、光學透鏡檢測、生物醫療和精密加工等領域，可以根據客戶的應用，在不大幅增加平臺高度的前提下提供抱閘和斷電自鎖選項，也可以根據客戶需求定制更大行程和更強承載能力的高精密升降臺。

備注：

（1）平行或垂直于運動方向測量；

（2）沿軸線方向受力；

（3）適配-AS反饋，配置線性放大器；

（4）空載測試；

（5）默認測試點位置為臺面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際載荷和工作點位置有關；

（6）其他行程可定制。