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CY-MSH300-III-DCDCDC-SS 三靶磁控濺射鍍膜儀(直流)

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鄭州成越科學(xué)儀器有限公司位于鄭州市*開發(fā)區(qū),是一家專業(yè)從事材料制備設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)和銷售為一體的高科技公司。重點(diǎn)專注于CVD石墨烯制備設(shè)備、熒光粉燒結(jié)設(shè)備、氧化鋯生物陶瓷燒結(jié)、納米材料制備、電池材料制備、陶瓷材料的微波燒結(jié)、稀有金屬的區(qū)域提純等研究發(fā)展方向。

鄭州成越科學(xué)儀器有限公司的研發(fā)團(tuán)隊(duì)?wèi){借自身在熱處理技術(shù)方面的專業(yè)知識和豐富的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn),先后研發(fā)出了多款*材料制備設(shè)備。主要產(chǎn)品有:微波燒結(jié)爐、真空管式爐、箱式電阻爐、高頻感應(yīng)爐、氧化鋯燒結(jié)爐、熒光粉燒結(jié)爐、晶體退火爐、電池材料燒結(jié)爐、旋轉(zhuǎn)管式爐、立式管式爐、CVD管式爐等;

其他的產(chǎn)品還有:等離子清洗機(jī)、真空手套箱、真空干燥箱、環(huán)境模擬測試柜、行星球磨機(jī)、高純石英管、99剛玉管、真空法蘭等。

近年來,在社會各界的關(guān)心支持下,公司不斷發(fā)展壯大,與國內(nèi)外多所高校和科研單位建立起了合作關(guān)系;公司還聘請了多位國內(nèi)外重點(diǎn)高校的教授,博導(dǎo)為公司常年的技術(shù)顧問,他們時刻與國內(nèi)外學(xué)術(shù)界保持交流,出國訪問,并親臨一線指導(dǎo)產(chǎn)品的生產(chǎn)和研發(fā),使我公司的產(chǎn)品不斷完善,并緊跟世界研究熱點(diǎn),推出相關(guān)的新產(chǎn)品。產(chǎn)品遠(yuǎn)銷歐美、日韓等國家,并在國內(nèi)外市場獲得業(yè)界*好評。

如果您正在被國貨的產(chǎn)品質(zhì)量所困擾,選擇我們將改變您對國貨的某些觀念;如果您正在為自己的實(shí)驗(yàn)方案的實(shí)施而茫然,選擇我們將有專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)為您量身定做!如果您正在為故障設(shè)備的售后無人理會而發(fā)愁,選擇我們一切的問題將由我們負(fù)責(zé)到底。鄭州成越科學(xué)儀器有限公司的誠信、實(shí)力和產(chǎn)品質(zhì)量獲得業(yè)界的認(rèn)可。歡迎各界朋友蒞臨參觀、指導(dǎo)和業(yè)務(wù)洽談。

 

管式爐,氣氛爐,馬弗爐,等離子磁控濺鍍膜儀,等離子清洗機(jī),切斷機(jī),拋光機(jī)

CY-MSP300S-3DC三靶磁控濺射鍍膜儀(直流)為我公司研發(fā)的實(shí)驗(yàn)室專用鍍膜儀,設(shè)備可選配直流電源,和射頻電源,功率從500W-1000W不等,可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜等。
磁控濺射相較于普通的等離子濺射擁有能量高速度快的優(yōu)點(diǎn),鍍膜速率高,樣品溫升低,是典型的高速低溫濺射。磁控靶配有水冷夾層,水冷機(jī)能夠有效的帶走熱量,避免熱量在靶面聚集,使磁控鍍膜能長時間穩(wěn)定工作。

設(shè)備經(jīng)過緊湊化設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)了體積與性能的平衡,造型美觀功能齊全。整機(jī)均采用觸控屏控制,內(nèi)置一鍵式鍍膜程序,操作簡單易上手,是一款實(shí)驗(yàn)室制備薄膜的理想設(shè)備。

技術(shù)參數(shù):

項(xiàng)目

明細(xì)

產(chǎn)品型號

CY-MSH300-III-DCDCDC-SS

供電電壓

AC220V50Hz

整機(jī)功率

4KW

系統(tǒng)真空

5×10-4Pa

樣品臺

尺寸

φ140mm

控溫精度

±1

加熱溫度

*500

轉(zhuǎn)速

1-20rpm可調(diào)

磁控濺射頭

數(shù)量

2 x3 1,2”可選)

水冷機(jī)規(guī)格

10L/min流速的循環(huán)水冷機(jī)

冷卻方式

水冷

真空腔體

腔體尺寸

Dia.300mm×300mm

觀察窗口

φ100mm

開啟方式

上頂開式

腔體材料

不銹鋼

質(zhì)量流量計(jì)

2路;量程100sccm100sccm(可根據(jù)客戶需要定制多路氣路)

真空系統(tǒng)

產(chǎn)品型號

CY-GZK103-A

抽氣接口

CF160

分子泵

CY-600

排氣接口

KF40

前極泵

旋片泵

真空測量

復(fù)合真空計(jì)

極限真空

1.0E-5Pa

供電電源

AC;220V 50/60Hz

抽氣速率

分子泵:600L/S  旋片泵:1.1L/S  綜合抽氣性能:20分鐘真空度可達(dá): 1.0E-3Pa

電源配置

數(shù)量

直流電源x3  

*大輸出功率

直流電源500W 

膜厚測量

可選配石英晶體膜厚儀,分辨率0.10 ?

控制系統(tǒng)

CYKY自研專業(yè)級控制系統(tǒng)

整機(jī)尺寸

600mm X 650mm X 1280mm

整機(jī)重量

300kg






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