CY-MSH300-III-DCDCRF-SS? 三靶磁控濺射鍍膜儀(直流+射頻)
- 公司名稱 鄭州成越科學儀器有限公司
- 品牌
- 型號 CY-MSH300-III-DCDCRF-SS?
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2025/7/31 9:07:07
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磁控濺射相較于普通的等離子濺射擁有能量高速度快的優點,鍍膜速率高,樣品溫升低,是典型的高速低溫濺射。磁控靶配有水冷夾層,水冷機能夠有效的帶走熱量,避免熱量在靶面聚集,使磁控鍍膜能長時間穩定工作。
設備經過緊湊化設計,實現了體積與性能的平衡,造型美觀功能齊全。整機均采用觸控屏控制,內置一鍵式鍍膜程序,操作簡單易上手,是一款實驗室制備薄膜的理想設備。
技術參數:
項目 明細 產品型號 CY-MSH300-III-DCDCRF-SS 供電電壓 AC220V,50Hz 整機功率 4KW 系統真空 ≦5×10-4Pa 樣品臺 尺寸 φ140mm 控溫精度 ±1℃ 加熱溫度 *高500℃ 轉速 1-20rpm可調 磁控濺射頭 數量 2” x3 (1”,2”可選) 水冷機規格 10L/min流速的循環水冷機 冷卻方式 水冷 真空腔體 腔體尺寸 Dia.300mm×300mm 觀察窗口 φ100mm 開啟方式 上頂開式 腔體材料 不銹鋼 質量流量計 2路;量程100sccm;100sccm(可根據客戶需要定制多路氣路) 真空系統 產品型號 CY-GZK103-A 抽氣接口 CF160 分子泵 CY-600 排氣接口 KF40 前極泵 旋片泵 真空測量 復合真空計 極限真空 1.0E-5Pa 供電電源 AC;220V 50/60Hz 抽氣速率 分子泵:600L/S 旋片泵:1.1L/S 綜合抽氣性能:20分鐘真空度可達: 1.0E-3Pa 電源配置 數量 直流電源x2 射頻電源 x1 *大輸出功率 直流電源500W 射頻電源500W 膜厚測量 可選配石英晶體膜厚儀,分辨率0.10 ? 控制系統 CYKY自研專業級控制系統 整機尺寸 600mm X 650mm X 1280mm 整機重量 300kg