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邁可諾技術有限公司

主營產品: 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機

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mr-NIL212FC德國納米壓印光刻膠
德國納米壓印光刻膠
參考價 面議
具體成交價以合同協議為準
  • 型號 mr-NIL212FC
  • 品牌 Micro Resist
  • 廠商性質 代理商
  • 所在地 武漢市

更新時間:2025-07-02 15:14:59瀏覽次數:182

聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!

【簡單介紹】
高分辨率:支持 <100 nm 結構壓印(如mr-NIL212FC可實現200nm柱陣列)。
量產適配:
UV-NIL:室溫低壓(<100 mbar),適合大面積和連續生產(R2R)。
T-NIL:熱塑性/熱固性 可選,平衡效率與穩定性。
工藝靈活性:
可搭配 LOR 光刻膠實現金屬納米結構剝離(Lift-off)。
通過 SiPOL 硅含量樹脂實現圖案放大,用于深槽刻蝕。
【詳細說明】

納米壓印光刻 (NIL) 解決方案——高性能光刻膠,助力納米制造革命

——來自德國 micro resist technology,納米壓印光刻材料的行業先驅



核心優勢

? Excellence的薄膜質量 | ? 高保真圖案復制 | ? 優異的干法刻蝕性能
? 廣泛的印章兼容性 | ? 定制化解決方案 | ? 符合工業級安全標準(ISO 9001 & 14001)

應用領域

l光子學(超表面、光柵、AR/VR)

l下一代電子器件(納米線、MEMS)

l生命科學與傳感器(微流控芯片、生物傳感器)


明星產品系列

1. UV-NIL 光刻膠

產品型號

核心特性

適用場景

mr-NIL210

專為 PDMS 類柔性印章優化,極薄殘膠控制(<10nm),高均勻性

柔性基底、曲面壓印、快速量產

mr-NIL212FC

兼容低強度光源(<40>2(SiO?),適合精密金屬蝕刻

納米電子、金屬納米結構制造

mr-NIL200

自粘附配方,無需底涂,專為硬質印章(石英/OrmoStamp®)設計

高精度光學元件、硬質基底壓印

mr-UVCuF26SF

溶劑型噴墨專用,低自發熒光,生物相容性佳

生物芯片、醫療器件

2.



2.



熱壓印(T-NIL)光刻膠

| mr-I 9000M | 熱固性樹脂,無玻璃化轉變溫度(Tg),耐高溫 260°C,yongjiu光學透明 | 高溫環境應用(如封裝、光學透鏡) |
| mr-I T85 | 基于 COC 材料,耐酸堿/有機溶劑,超高紫外透過率 | 微流控芯片、透明器件 |

3. 創新工藝方案

NIL + 剝離工藝:結合 mr-NIL212FC/LOR 實現復雜金屬納米結構(如 200nm 金屬網格)。

NIL + 深度刻蝕:通過含硅光刻膠 SiPOL 或硬掩模(SiO?)實現高深寬比結構放大。





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