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邁可諾技術有限公司
主營產品: 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |

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參考價 | 220 |
L | 220元 | 100 件 可售 |
更新時間:2025-08-04 15:27:55瀏覽次數:13
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供貨周期 | 兩周 | 應用領域 | 能源,電子/電池,電氣,綜合 |
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高感光度標準G線正型光刻膠
AZ1500系列G線光刻膠
為廣泛應用于半導體制造領域而優化的高感光度G線正型光刻膠
特征:
1) 高感光度,高產出率
2) 高附著性,特別為濕法刻蝕工藝改進
3) 廣泛應用于*半導體行業
AZ1500系列G線光刻膠參考工藝條件:
前烘 :100℃ 60秒 (DHP)
曝光 :G線步進式曝光機/接觸式曝光機
顯影 :AZ300MIF (2.38%) 23℃ 60秒 Puddle
清洗 :去離子水30秒
后烘 :120℃ 120秒 (DHP)
剝離 :AZ剝離液及/或氧等離子體灰化
產品型號:AZ1500
Viscosity:4.4mPa 20mPa 38mPa 90mPa
AZ1500系列G線光刻膠 旋涂曲線:
AZ1500系列i線光刻膠 圖案輪廓: