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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品: 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品: 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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參考價(jià) | 220 |
L | 220元 | 100 件 可售 |
更新時(shí)間:2025-08-04 15:30:15瀏覽次數(shù):16
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供貨周期 | 兩周 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,電氣,綜合 |
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高感光度標(biāo)準(zhǔn)G線(xiàn)正型光刻膠
AZ1500系列G線(xiàn)光刻膠
為廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域而優(yōu)化的高感光度G線(xiàn)正型光刻膠
特征:
1) 高感光度,高產(chǎn)出率
2) 高附著性,特別為濕法刻蝕工藝改進(jìn)
3) 廣泛應(yīng)用于*半導(dǎo)體行業(yè)
AZ1500系列G線(xiàn)光刻膠參考工藝條件:
前烘 :100℃ 60秒 (DHP)
曝光 :G線(xiàn)步進(jìn)式曝光機(jī)/接觸式曝光機(jī)
顯影 :AZ300MIF (2.38%) 23℃ 60秒 Puddle
清洗 :去離子水30秒
后烘 :120℃ 120秒 (DHP)
剝離 :AZ剝離液及/或氧等離子體灰化
產(chǎn)品型號(hào):AZ1500
Viscosity:4.4mPa 20mPa 38mPa 90mPa
AZ1500系列G線(xiàn)光刻膠 旋涂曲線(xiàn):
AZ1500系列i線(xiàn)光刻膠 圖案輪廓: