AT 臭氧發(fā)生器

AT 臭氧發(fā)生器采用高品質(zhì)元器件，能以極小的體型提供高濃度（最高 12%）臭氧。該系統(tǒng)無需昂貴且笨重的水冷裝置，內(nèi)置的高速風(fēng)扇即使在長(zhǎng)時(shí)間或持續(xù)使用時(shí)，也能保持等離子體室的冷卻。可在臭氧、氧氣和關(guān)閉狀態(tài)之間進(jìn)行手動(dòng)或自動(dòng)切換。

特征

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• · 臭氧產(chǎn)生范圍：低流量時(shí) 12% 重量%，高流量時(shí) 6%。

• · 集成 O₂ 調(diào)節(jié)器：3 – 29 psi

• · 用于非循環(huán)臭氧流的高容量臭氧破壞器

• · 可通過 3 – 24V 輸入信號(hào)控制

• · 用于手動(dòng)臭氧控制的超控開關(guān)

• · 用于選擇 O₂ 或臭氧輸出的前面板開關(guān)

規(guī)格

• · 臭氧產(chǎn)生范圍：低流量 （250 sccm） 時(shí) 12% 至高流量 （2500 sccm） 時(shí) 6% （按重量計(jì)）

• 電暈電池由鋁制成，帶陶瓷電介質(zhì)

• 工作頻率：5,000 – 30,000 Hz

• · 氧氣/臭氧流量范圍：25 – 2500 sccm，帶面板集成流量控制

• · 集成 O₂ 調(diào)節(jié)器：3-29 psi 范圍

• · 自動(dòng)臭氧控制需要 3-24V 直流輸入信號(hào)

• · 110 – 220 伏交流電，60/50 赫茲，2A

• · 重量 15 磅

• · 尺寸：10.3 英寸寬 x 7.5 英寸高 x 20 英寸深

選件

安全監(jiān)測(cè)儀

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• 綠色：臭氧水平低于 1500 ppb

• 黃色：臭氧水平 1500ppb 至 3500 ppb

• 紅色：臭氧水平大于 3500ppb

• 監(jiān)控并與 AT 系列系統(tǒng)集成

• 檢測(cè)高達(dá) 5000ppb 或 5ppm

• 環(huán)境臭氧氣體的實(shí)時(shí)檢測(cè)

• 溫度和濕度檢測(cè)

• 帶 LCD 顯示屏的壁掛式支架

• 提供一個(gè)開/關(guān)干接點(diǎn)繼電器輸出來控制臭氧發(fā)生器

• 將預(yù)先連接到臭氧發(fā)生器以進(jìn)行自動(dòng)關(guān)閉

安裝

有關(guān)確切的詳細(xì)信息和更多安全預(yù)防措施，請(qǐng)參閱 ATOzone – 安裝和作手冊(cè)：

1. 建議在后輸入管（1/4“ 世偉洛克壓縮接頭）輸入 98+% 氧氣（至少需要 90% 純度）

2. 排氣口（1/4“ 世偉洛克壓縮接頭）能夠處理 0.5 scfh 的純 O2 到適當(dāng)?shù)能図斉艢饣蛲扰欧拧?/span>

3. 臭氧從前端口（1/4“ 世偉洛克壓縮接頭）出來，應(yīng)連接到 ALD 工具（也已適當(dāng)排氣）。

4. 將電源線連接到背面（標(biāo)準(zhǔn) 110-220VAC）

5. 將前面的 （O2） 壓力閥轉(zhuǎn)至 15 psi，將壓力表轉(zhuǎn)至 0.2 至 0.4 scfh

6. 前面的開關(guān)現(xiàn)在應(yīng)定位為 O3（臭氧）

7. 如果所有連接都已建立，則當(dāng)發(fā)出 + 3 至 24V 控制信號(hào)時(shí)，控制 O2 流量的閥門將打開（將產(chǎn)生臭氧）。事先確保排氣管連接正確！任何時(shí)候都不要排氣到房間。

8. 臭氧也可以通過提起背面的紅色保護(hù)器并向上翻轉(zhuǎn)手動(dòng)臭氧開關(guān)來產(chǎn)生。
   – 現(xiàn)在打開前面板臭氧開關(guān) （O3） 會(huì)將臭氧輸送到前端口（進(jìn)入適當(dāng)排氣的 ALD 工具）。

9. 關(guān)閉背面的保護(hù)蓋可關(guān)閉臭氧。

10. 連接到真空系統(tǒng)時(shí)， 始終保持系統(tǒng)上流動(dòng)的氧氣正壓。在 ATOzone 系統(tǒng)上拉動(dòng)真空將使保修失效 。