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迷你石墨烯CVD設備
本套CVD系統專為石墨烯生產設計，采用1200℃迷你管式爐，配有高精度質量流量計以及薄膜真空規。相比于常規的皮拉尼電阻規，薄膜規的讀數**，不受氣體種類影響，十分適合真空鍍膜工藝。同時設備配有可燃氣體檢測裝置，聯動出氣口電磁閥，一旦出現泄漏電磁閥即可自行關閉保證**。
該套設備功能**占地面積較小，十分適合實驗室規模的CVD制備。
特點
1.高精度質量流量計以及薄膜真空規。
2.可燃氣體檢測裝置，聯動出氣口電磁閥。
3.體積小巧
4.專為石墨烯生產設計
| 1200℃迷你管式爐 | 供電電壓 | AC220V,50Hz |
| 功率 | 2KW max | |
| 加熱溫區 | 單溫區200mm | |
| 恒溫區長 | 100mm | |
| 加熱元件 | 耐熱合金絲 | |
| 熱電偶 | K型 | |
| 工作溫度 | ≤1150℃ | |
| 升溫速率 | 建議≤10℃/min | |
| 控溫精度 | ±1℃ | |
| 控溫方式 | AI-PID 30段工藝曲線，帶有過熱和斷偶保護 | |
| 爐管材質 | 高純石英 | |
| 爐管尺寸 | φ50mm O.D x 450mm L | |
| 真空泵 | 機械泵 抽速1.1L/s | |
| 極限真空 | 5Pa |
| 三路浮子流量計 | 閥門類型 | 不銹鋼針閥 |
| 氣路數量 | 三路 | |
| 承壓范圍 | 0.05~0.3MPa | |
| 量程 | Ar 0~500sccm H2 0~200sccm CH4 0~10sccm | |
| 流量控制范圍 | ±1.5% | |
| 混氣罐容積 | 750mL | |
| 氣路材料 | 304不銹鋼 | |
| 管道接口 | 6.35mm卡套接頭 | |
| 供電電源 | AC220V 50Hz |
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