目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>CVD氣相沉積系統>> CY-CVD1500-60-300-3TH-Q1500℃單溫區3路質量供氣低真空CVD系統
1500℃單溫區3路質量流量計低真空CVD系統管式爐采用高清真彩觸控屏操作，簡單易上手，即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法，能夠極大的提高您的實驗效率。爐管采用高純氧化鋁制成，爐體采用一體式設計，的設計能夠保證系統在1500℃運行穩定**，加熱元件采用高品質硅碳棒，能夠達到1500℃高溫，若客戶有需求可以定制硅鉬棒加熱元件以達到更高的1700℃高溫。系統所配有的三路質量流量計，精度高可靠性強，可以準確混合1~3路氣體，操作面板采用數字顯示，直觀高效。若客戶有特殊需要也可聯系技術人員定制任意數量的氣路。
適用于高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。
技術參數：
真 空 管 式 爐 產品型號 CY-CVD1500-60-300-3TH-Q 爐管材質 高純氧化鋁 爐管直徑 60mm（可選配50mm、80mm、100mm） 爐管長度 1000mm 爐膛長度 400mm 加熱區長 300mm 恒溫區長 150mm 工作溫度 ≤1450℃ 控溫精度 ±1℃ 控溫模式 30段或50段程序控溫 顯示模式 LCD 密封方式 304不銹鋼真空法蘭 法蘭接口 1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭 可抽真空 4.4E-3Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz 供 氣 系 統 產品型號 CY-3Z 氣體通道 3通道 測量部件 氣體質量流量計 測量量程 A通道：0～100SCCM H2氣 備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時需要特別注明。可根據客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。 B通道：0～300SCCM N2氣 C通道：0～500SCCM Ar氣 測量精度 ±1.0%F.S 管道耐壓 3MPa 工作壓差 50～300KPa 連接管道 304不銹鋼 控制閥門 304不銹鋼針閥 接口規格 進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 供電電源 AC:220V 50/60Hz 排 氣 系 統 機械泵 旋片泵 抽氣速率 1.1L/S 排氣接口 KF16 真空測量 電阻規 極限真空 1.0E-1Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz 抽氣接口 KF16
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